微細化・高集積化が進む半導体製造において、装置の安定稼働と高い信頼性は不可欠であり、半導体製造装置を構成する一つひとつの部品選定が、装置品質や保守性に大きく影響します。特に、ロードポート、チャンバー、制御ユニット、メンテナンス扉などに使用されるハンドル類には、安全性・耐久性・操作性に加え、SEMI規格への適合が設計段階で求められます。
タキゲンでは、SEMI規格に準拠したハンドルをラインアップし、クリーン環境での使用や頻繁な開閉作業を想定した構造、装置設計に組み込みやすい寸法・仕様により、半導体製造装置の設計者が安心して採用できる機構部品を提供しています。規格対応を前提とした部品選定により、設計工数の削減と装置全体の信頼性向上をサポートします。

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ステンレス 大型パイプ取手
A-1359SEMI S8-0218, APPENDIX3準拠クリーンルーム用手袋着用時対応（2018年度版）

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硬質塩化ビニル取手
AP-566N
SEMIS8-0218準拠。クリーンルーム用手袋着用時対応（2018年度版）

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ステンレス丸棒取手
A-1042-C-6H
SEMI S8-0218 SESC6.7.1準拠 クリーンルーム用手袋着用時対応（2018年度版）

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収納型ハンドル
A-89N-1
SEMI S8-0218準拠
クリーンルーム用手袋着用時対応（2018年度版）

半導体製造装置の真空チャンバー扉は、密閉性と操作性に加え安全設計が重要です。タキゲンは複数ラッチを同時作動させる大型連動ハンドルと、大型扉用多軸蝶番で、重量扉でも安定した密閉と再現性ある開閉を実現します。さらに、真空で扉が引き込まれるとロックが解除され、非常時に内圧が高まった際は扉が逃げて装置破損を防ぐ機構も提案。設計段階から仕様に合わせて最適化します。

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大型密閉用連動ハンドル
FA-1730真空装置扉などを密閉するのに適したステンレス製連動ハンドルです。

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大型密閉扉用多軸クリーン蝶番
FB-1736-ML
金属の回転摺動を無くしたメタルタッチレス構造の大型密閉用多軸蝶番です。

金属コンタミ問題を解決するために、金属部の摺動をなくしたメタルタッチレス製品を提案しています。

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重量用クリーンヒンジ
B-1064-ML銅・亜鉛・ニッケルなど、製品不良の原因となる特定物質の使用を制限した製品です。

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小型埋込みマグネットキャッチ
C-925
樹脂による密閉構造で、筐体を傷つけにくく、金属粉の発生もありません。